常素萍 王生怀 陈育荣 谢铁邦

柔性铰链 共平面二维精密工作台 垂直扫描系统 平行簧片 宏微两级驱动 孔径光阑 白光显微干涉 显微干涉仪 光栅位移计量 光电阵列 光源 相位光栅干涉 激光干涉位移计量 数值孔径 粗精两级驱动 微位移传感器

湖北汽车工业学院机械系 华中科技大学机械科学与工程学院 华中科技大学机械学院仪器系