电脑体验，效果更佳

王春洪图谱-机械领域：

相关人员

杨开明 徐登峰 朱煜 贾松涛 尹文生 段广洪 程嘉 张鸣

研究领域

光刻机 动力学 气浮精密运动台 气浮支撑 同步扫描 精密工作台 误差分析 平面两自由度

所属机构

清华大学精密仪器与机械学系IC装备实验室

标签云