张立勇 何正嘉 刘新明 卢秉恒 尹自强 孟庆丰 王长路 赵纪元 阳培 李圣怡 戴一帆 关朝亮

非平稳 倾覆特性 多孔质气体静压止推轴承 主轴回转精度 发展现状 比例分割法 混合比例分割法 传动原理 状态监测 超精密 谐波齿轮传动 单圈非重复性主轴回转精度 有限元法 收敛性 速度滑移 离线／在线 故障诊断 局部多孔质气浮轴承 圆度评价 空气静压导轨 多孔质 变工况 压力分布 直线电机 最小区域法