高劲松 王彤彤 陈红 单兆会 凌伟 宋琦 郑宣鸣 申振峰 张忠玉 郑宣明 范镝 巩盾

TMC系统 硬度和弹性模量 光子晶体 霍尔源 时域有限差分法 表面散射系数 总积分散射仪 光学禁带 碳化 表面改性 离子辅助沉积 反应烧结碳化硅 硬度 离子辅助电离 薄膜制备 信噪比 碳化硅薄膜 RB-SiC基底 缺陷态 Ge1-xCx 低压反应离子镀 低压反应离子镀RLVIP) SiC反射镜 X射线光电子能谱 Ge1-xCx薄膜

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