杨育林 朱利娜 郭辉 刘志平 李旦 董申

刀具 微切削 空气静压轴承主轴 刃口轮廓精度 切屑 溜板 刀具刃口半径 结合强度 加工表面 控制方法 高速转子 振动主动控制 刃口半径 机械振动 超精密车床 内应力 主动控制 研磨 空气弹簧 力学性能 CVD金刚石膜 模糊神经网络控制 主动空气轴承 防振 类金刚石膜

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