刘雄伟 邱熹程 姚强 罗泽良 巫立东 王晓红 夏继盛 区仲荣 史国涛 王宏霞

研磨质量 扰动 切屑形成 冲击 纳米操作 原子力显微镜 微注射 悬臂 主动隔振 被动隔振 检测 微注射量 探针 扫描探针显微镜 SPM 表面凹坑 纳米加工技术 研抛 定位 单晶金刚石 微滴 修饰针尖 磁阻尼 弹性浮动

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