霍同林 沈连婠 赵屹东 郑津津 韩雷 钟鹏飞 郑雷 戚则明 付绍军 李晓光 陈玲燕 王占山 田杨超 张国斌 戚泽明 刘刚 王秋平 崔明启 张允武 刘付轶 张众 王洪昌 黄秋实 蒋晖 孙丽娟 王风丽 朱京涛 徐敬 余小江 白亮

极紫外 紫外深度光刻 光谱定标 同步辐射 点到弦距离累积 光栅单色器 磁控溅射 准刚体运动 高次谐波 臭氧 气体电离室 偏振光学元件 相位相关法 引线成形 多层膜 调试技术 本底真空度 光谱计量 Al滤片 SU-8光刻胶 反射率 高次谐波抑制 检偏器 氧原子 活化氧 分辨本领 光束线 滤片 拟合圆圆心 极紫外光学

中国科技大学国家同步辐射实验室 同济大学物理系精密光学工程技术研究所