龚秋莲 罗晓宁 谢明超 库国显 李勇 向毅 巫仁智 熊沈蜀 徐海东 吕静姝 金亚 刘冉 刘长庚 张东旭 邹丽芸 杨延楣 熊琼 郑云飞 罗小宁 严晓敏 徐庆新 杨岳 张文栋 张涛 吴英 崔天宏 邬婷 齐怡 才海男 朱荣

高精度 压电换能器 组装 微型机电系统 超精密定位 翼型 直圆柔性铰链 测量 CAD S 矩阵 环形蠕动泵 拉伸破坏 阻抗谱 网络 电功率 逻辑电路 轮廓跟踪 微小型制造 MEMS 多项式拟合 柔性铰链 微型机械 光刻图形化 衍射光栅 检测 模糊控制 接触 反应离子刻蚀 微小型化 流体排布

清华大学 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 清华大学精仪系微机械 清华大学精密仪器系 清华大学精密仪器与机械学系 航天科工卫星技术有限公司 清华大学化学系 清华大学精仪系