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双自转研磨盘研磨方式 运行模式 光固化树脂 半固着磨粒加工 X射线衍射 运动特性 专家控制 田口方法 超精密平面抛光 转速比函数 双自转研磨 超精密加工技术 金刚石磨料 研磨均匀性 氮化铝（AIN）基片 磨粒加工 超精密加工 Si3N4 抛光液膜 陶瓷球 去除形式 三体磨损 超精密抛光 氮化硅陶瓷球 流场 工艺优化 磨损形式 数值模拟 材料去除率 滚动轴承

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