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遗传算法 同步辐射 最小膜层厚度 可重构制造系统 传输矩阵 光谱分辨率 非周期多层膜 光学性能 刻蚀 局域态 共振腔 多通道 设备布局 掠入射角 X射线超反射镜 带宽 刻蚀比 多层膜 透射电镜 光栅 X射线衍射仪 三维可视化

同济大学精密光学工程技术研究所物理系 安徽合肥 中国科技大学同步辐射国家重点实验室