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唐晓红图谱-机械领域：

相关人员

丁阳喜 任继文 刘建春 熊国良 龚建国

研究领域

MEMS工艺 TiN离子镀层 比值法 深度 制造工艺 半导体 激光 椭圆度误差

所属机构

华东交通大学机电工程学院

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