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干涉图处理 扫描模式 振动检测 电子散斑剪切相移干涉 残差点 微机电系统 四步算法 解包裹算法 时间平均法 微形貌测量 光纤布拉格光栅 机群系统 压力灵敏度 路由 光互连网络接口卡 偏振耦合点位置测量 散斑条纹模拟 相位提取 相移干涉 白光干涉仪 光互连 表面形貌 相位去包裹