刘广玉 冷护基 刘广建 潘紫微 崔玉亮 樊尚春 王启平 于凤 宋治生

频率信号 料位检测 数学模型 硅微结构 振弦 热激励 谐振频率 压力传感器 质量流量计 检测电路 赫姆霍茨谐振器 弹性元件 科氏效应