毛海央 王楷群 李蕾 谢生 王善慈 朱弘 黄晓综 张文栋

温度传感器 相对误差 物理模型 半导体器件 硅薄膜 阈值电压 空穴 载流子 电阻率 霍耳测量 半导体材料 压阻式微加速度计 叠加放大 位移传感器 无源RFID标签 X射线衍射技术 数值计算方法 载流子浓度 电离 多晶硅 边界条件 电势门 灵敏度 工艺监控 温度偏差 离子迁移谱探测