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薄膜应力图谱-计算机领域：

研究人员

卢平芳 宋庆山 庄奕琪 孙青 陆德仁 杨银堂 熊幸果 张忠良

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不同温度 弯梁法 溅射Al2O3膜 氮化硅薄膜 热膨胀系数 微机械 热应力 杨氏模量

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