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深反应离子刻蚀图谱-计算机领域：

研究人员

颜培力 焦继伟 曹学成 张颖 张鲲 罗斯建 宓斌玮 黄树森

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微机电系统 MEMS陀螺 模态失配 局域掩膜效应 电容式加速度计 微机械 非对称结构 滑膜阻尼

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