景俊海 杨银堂 黄庆安 杨绪华 张忠良 孙青 谭久彬 庄奕琪 刘岩 金鹏

微加工技术 成品率 淀积速率 热膨胀系数 介电常数 工艺条件 剥离技术 薄膜应力 不均匀性 微型机电系统 低压化学气相淀积 磁控射频溅射 微型传感器 实验装置 热应力 氮化硅膜 发射机制 不同温度