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超声检测 组合离子注入 高阻外延层 A扫描脉冲反射法 电阻温度系数 电阻性能 真空蒸发 硝化棉 广泛应用 保护膜 特性 晶格损伤 电阻率 氧传感器 工艺技术 常压 退火 双晶X射线衍射 热处理