郝光宗 邱法斌 平田光寿 李凤琴 何鹏 孙良彦 宁秋菊

衬底膜 光刻 耐水性 测湿 湿敏元件 聚酰亚胺 合格率 蒸发 亚胺化 湿度敏感元件 高分子湿敏电容 湿度传感器 抗干扰性 纤维素 保护膜 活性中心 化学量传感器 上电极 温度系数 灵敏度