张嵘 杨波 魏冬 陈志勇 钟舟 孙道恒 周顺 王凌云 苏岩 郭秀中 刘益芳 周斌 杨拥军 黄丽斌 阮爱武 严杰 李明 高钟毓 周百令 王寿荣 张志杰 王寿宁 陈怀 董煜茜

驱动模态 隧道效应 动力学方程 驱动 品质因数 静电力再平衡回路 多核协调同步 信号检测 带通 温度特性 载波 片上系统 有限元 同步解调 DDSOG工艺 补偿 数字闭环控制 频率跟踪 梳状驱动 测量灵敏度 双框架 灵敏度 振动模态 振动轮式速率陀螺 硅尖 空间角速度传感器 传感器 隧道传感器