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微机电系统（MEMS）图谱-计算机领域：

研究人员

徐玉成 朱荣 徐毓龙 应济 苏伟 林谢昭 屈新芬 周兆英 杨东营 张玉林 李现明

相关术语

宏模型 模态分析方法 微加速度计 模式识别 电容传感器 恶劣环境 碳化硅（SiC） 挥发性有机化合物（VOC） 高温传感器 双重控制 聚合酶链式反应（PCR） 静电驱动 微磁强计 侵彻武器 信号处理 电子鼻 工艺 大g值加速度计 姿态测量 工业控制计算机

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