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压力传感器 微薄隔膜 薄膜 粘接 器件 硅栅 优化 掺杂 应变计 灵敏度 MEMS 平面加工工艺 动态特性 温度补偿 电阻率 过载保护 淀积 灵敏系数 力敏电阻 压阻 氮化硅 热灵敏度漂移 残余应力 器件坐标 表面微加工工艺 平面结构 宏单元 弹性膜片 压阻系数 生长法