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硅微陀螺仪图谱-计算机领域：

研究人员

黄钦文 夏敦柱 裘安萍 杨波 苏岩 王寿荣 扶文树 施芹 周百令 罗蓉

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弹性主轴 键合 自激驱动 零偏稳定性 寄生电容 标度因素 侧壁 深刻蚀 噪声分析 正交信号 闭环 解耦 接口模型 模态 双闭环检测

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