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输入阻抗 输出电压 功率开关器件 电压 电流容量 参数 设计程序 灵敏度 最大功率 优点 实用参数 电路结构 控制方向 最大电流密度 测试方法 MEMS 电流 受控源 符合电路 功率器件 传感器 节点法 傅立叶级数 系统级模拟 戴维南定理 MEMS设计 宏模型 静电驱动梁 有源二端网络 横向双扩散MOS管