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等离子体刻蚀图谱-计算机领域：

研究人员

迟晓珠 孙承龙 钱佑华 苏毅 陈良尧 田雷 王伟 张精华

相关术语

Lag效应 反应离子刻蚀 硅微加速度计 各向异性 压阻式 数值模拟 均匀性 MEMS

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