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牺牲层图谱-计算机领域：

研究人员

金仲和 王跃林 马慧莲 王善慈 郁发新 林守锋

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模型 弹性膜片 光刻胶 腐蚀前端 平面结构 LIGA技术 应变电阻 微结构 硅压力传感器 微传感器 释放腐蚀 三维加速度传感器 多晶硅

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