吴黎明 吴双 李海兰 李正熙 吕国芳 张智杰 彭银桥 王峰 潘孝仁 曲永印 陶军 黄湛 严琴 汤秀琴 胡林峰 李朝林 田野 甘元驹 彭威 张永忠 钱达明 李忠庆 董海清 邓耀华 程翔 邬冠华 候军 王强 宋淑芳 冯勇建

控制 调节方式 真空蒸发 温度控制系统 计算机集散控制 晶相结构 移位寄存器 退火炉 气敏 回火 参数自整定 系统 淬火 集中控制 工程网络测控 稳定性 双机热备 可靠性 气敏特性 上下位机通信 无损评价 SnO2薄膜 热处理工艺 合金薄膜 系统仿真 薄膜电阻 优化配料装炉 微机测控 杂质 溅射