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准LIGA图谱-计算机领域：

研究人员

王添平 谭淞生 王效东 王渭源 朱荻 徐惠宇 解健芳

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微细结构 高深宽比 深层反应离子刻蚀 电铸和模铸 光刻 反应离子刻蚀 静电马达

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