沈晓明 朱建中 赵友洲 张礼德 路海林 唐毅 陈东石 姜丽娟 李军 王冬梅 张萍

焦深 二氧化硅 信息坑 优化工艺 母盘 筛选实验 显影 注塑机 淀积速率 表面处理技术 LIGA技术 产生的原因 刻录速度 参比电极 三维加速度传感器 光刻精度 牺牲层 半导体激光器 光刻 水清洗 工艺 母盘刻录 氧传感器 聚合物 透氧膜 水纹 芯片制造 染料 刻录技术 硅片