钱佑华 孙洪文 袁凯 王添平 苟君 黄敝 邵传芬 苏毅 郭常厚 王德宁 王方 太惠玲 刘景全 李莹 高东岳 王渭源 姜建东 陈迪 李荫波 王效东 孙承龙 解健芳 谭淞生 吴志明 陈良尧 严剑飞 顾盼 彭忠献 栾兰

深U型槽 刻蚀速率 各向异性深刻蚀 防粘连膜 侧壁保护机制 各向异性 表面能 均匀性 选择比 残留物 微机电系统 二氧化硅 表面粗糙度 侧壁保护 钼膜 最佳工艺条件 侧墙 难熔金属 等离子体刻蚀 AlCu合金 准LIGA 静电马达 等离子体