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串联谐振 微机械陀螺仪 中心频率 硅微谐振式传感器 计算机辅助分析CAA) 半功率带宽 谐振腔 谐振频率 曲线拟合 有限元 振动模态 线性调频Z变换 带通滤波 微波测量 设计 线性调频信号 频率特性