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低压化学气相淀积图谱-计算机领域：

研究人员

刘晓为 王喜莲 宋明浩 潘慧艳 揣容岩

相关术语

磁控溅射 淀积速率 多晶硅薄膜 不均匀性 成品率 氮化硅薄膜 压阻特性 应变系数

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