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Ag掺杂 磁控溅射 气体传感器 电学特性 工艺 灵敏度 气敏特性 酒敏 平面工艺 方块电阻 溶胶凝胶 溶胶—凝胶 光学特性 La掺杂 气敏元件 长期稳定性 气敏 Nd掺杂 纳米 真空蒸发 掺杂 射频溅射 热处理 氧化 真空气相沉积 MOCVD 三甲胺