软件 组织柔性 反求工程 动平衡 微机械微电子机械系统) 企业资源计划 智能制造系统 电火花微细加工 计算机集成制造系统 串联机构 磁性磨料精整加工 制造资源计划 微机械加工技术 微型机械 并联机构 快速成型 加热辅助切削 砂轮修整 激光干涉法 微细加工技术 高效深磨 纳米结构 制造技术 脉冲宽度 纳米压印技术 物流 激光快速成形 影像 熔融沉积 误差补偿