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陈良尧图谱-计算机领域：

相关人员

谭淞生 王渭源 苏毅 钱佑华 孙承龙

研究领域

各向异性 等离子体刻蚀 均匀性 反应离子刻蚀

所属机构

复旦大学物理系

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