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研究领域
自激驱动
信息融合
MEMS加速度传感器
寄生电容
电容式传感器
分辨力
微机械陀螺
静电激励
遗传算法
可靠工作范围
硅硅键合
Q值
等效电刚度
Verilog-A模型
电容式加速度传感器
噪声
惯性传感器
阶跃响应
阶跃信号
检测电路
自动增益控制
圆片级真空封装
热机械噪声
MEMS加速度计
所属机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...
中国科学院研究生院
中国科学院上海治金所传感技术国家重点实验...
浙江大学机械工程与自动化系
杭州电子科技大学微电子CAD研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感...
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