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谭淞生图谱-计算机领域：

相关人员

陈良尧 孙承龙 苏毅 王效东 王添平 解健芳 钱佑华 王渭源

研究领域

各向异性 准LIGA 反应离子刻蚀 静电马达 等离子体刻蚀 均匀性

所属机构

复旦大学物理系 中国科学院上海冶金研究所

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