鲍敏杭 尹颢 陈宏 胡澄宇 王文襄 马青华 任建军 李昕欣 杨恒

过载能力 加速度传感器 异丙醇 非线性 传感器 无掩模腐蚀 微压传感器 硅 削角补偿 各向异性腐蚀 灵敏度 氢氧化钾溶液 腐蚀 四甲基氢氧化铵 压阻 静电驱动 应力匀散 微机械 微机械结构

复旦大学电子工程系传感器研究室 中科院传感技术国家实验室 宝鸡秦岭晶体管厂 复旦大学电子工程系 复旦大学电子工程系传感器研究室 传感技术国家重点实验室