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揣容岩图谱-计算机领域：

相关人员

王喜莲 潘慧艳 宋明浩 刘晓为

研究领域

多晶硅薄膜 低压化学气相淀积 压阻特性 应变系数 磁控溅射

所属机构

黑龙江哈尔滨 哈尔滨工业大学MEMS中心

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