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姜建东图谱-计算机领域：

相关人员

王德宁 王渭源 孙承龙 戈肖鸿

研究领域

刻蚀速率 反应离子深刻蚀 侧向腐蚀 各向异性深刻蚀 反应离子刻蚀 侧壁保护机制 微机械

所属机构

中科院上海冶金所传感技术研究室 上海市复旦大学电子工程系集成电路设计研究...

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