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孙承龙图谱-计算机领域:
相关人员
王德宁
王渭源
谭淞生
徐梅芳
姜建东
武蕴忠
李生强
戈肖鸿
褚卫兵
钱佑华
陈良尧
苏毅
丁青
研究领域
微机械
等离子体刻蚀
表面粗糙度
侧壁保护机制
TCR
反应离子刻蚀
各向异性
侧墙
刻蚀速率
铂薄膜温度传感器
各向异性深刻蚀
均匀性
反应离子深刻蚀
侧向腐蚀
所属机构
上海市复旦大学电子工程系集成电路设计研究...
中科院上海冶金所传感技术研究室
复旦大学物理系
中国科学院上海冶金研究所
中科院传感技术联合开放实验室
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