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孙承龙图谱-计算机领域：

相关人员

王德宁 王渭源 谭淞生 徐梅芳 姜建东 武蕴忠 李生强 戈肖鸿

研究领域

微机械 等离子体刻蚀 表面粗糙度 侧壁保护机制 TCR 反应离子刻蚀 各向异性 侧墙

所属机构

复旦大学物理系 中国科学院上海冶金研究所 中科院传感技术联合开放实验室 中科院上海冶金所传感技术研究室 上海市复旦大学电子工程系集成电路设计研究...

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