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章定康图谱-计算机领域：

相关人员

薛智民 张武安 孙有民 黄敞 杨樱华 余山 武晋峰 张屏英

研究领域

选择性 超薄SiO2介质 等离子刻蚀机 二氧化硅 侧墙 横向电场 LDD 轻掺杂漏

所属机构

陕西临潼 骊山微电子研究所 骊山微电子学研究所 西安交通大学电子系 陕西临潼骊山微电子学研究所 航空航天部骊山微电子学研究所

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