李鹏 焦继伟 杨恒 蒋睿 黄晖 刘民 左国民 李圣怡

硅微机械加工技术 控制精度 微机械 传感器 吸合时间 纳米厚度 静电激励 单片集成MEMS

浙江大学 中国科学院研究生院 浙江大学信息与电子工程系 浙江大学信息科学与电子工程系 浙江大学信息科学与电子工程学系 浙江大学信电系微电子学与光电子学研究所 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感... 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术...