卢慧斌 孙凤玲 陈书旺 胡凤霞 李丹 李瑞 易德兴 孙学智 庄庆德 齐虹 王蕴辉 田雷

压力变送器 传感器 穿心电容 硅薄膜 器件坐标 微机械加工 压阻效应 弹性膜片 液位测量 变送器 失效模式 试验方法 多晶硅 应变系数 电阻率 位移传感器 抗电磁干扰 可靠性 低压CVD 微电子机械系统 压阻系数 反应室 迁移率 硅压力传感器 粘接 牺牲层 应变电阻 应变计 生长法 平面结构

信息产业部电子第四十九研究所 电子工业部第49研究所 信息产业部电子 黑龙江哈尔滨 河北石家庄 信息产业部电子第49研究所 河北科技大学信息学院