韩小菊 陈明 马惠成 苗国耀

声光测量 模糊整定器 模糊系统 悬臂梁式SAW加速度计 SAW陀螺效应 容错控制 信息融合 SAW器件制作能力 悬臂梁动态特性 SAW加速度计 PID参数 分辨率 静电力 多传感器控制系统 微型加速度计 微小角度测量 CCD 开闭环切换 混频 X2检验法 铌酸锂 测量准确度 布拉格衍射 滤波

西北工业大学自动化学院 西安文理学院机电系 西安科技大学电控学院 西安科技学院自动化系 陕西西安