陈勇辉 李东晓 谢勇君 杨叔子 史铁林 胡颖勇

层次结构 微机电系统结构 红外传输 MEMS 感应供电 频闪成像 面内微运动 离面微运动 应变式扭矩仪 协调同步控制 无线传输 显微干涉 感应传输 分布式监测诊断系统

华中科技大学机械科学与工程学院 暨南大学电气自动化研究所 武汉光电国家实验室（筹）光电材料与微纳制... 湖北武汉 华中理工大学机械学院 广东珠海 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实...