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大型水平滑台 失准角 液体静压技术 液体 轴承刚度 光栅测量系统 主轴 压力分布 止推轴承 优化设计 功耗 刚度 二维流 气体轴承 振动试验 薄膜反馈 系统刚度 载荷分析 电动振动台 精密离心机 热设计 油腔