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化学机械抛光图谱-航空航天领域：

研究人员

李言 吴勇波 肖强 李淑娟 杨卫平 于秀坤 苏建修 楼飞燕

相关术语

平坦化 抛光载荷 复合抛光 抛光效率 粗糙度 激光诱导荧光 集成电路 SiC单晶片

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