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反应离子刻蚀图谱-航空航天领域：

研究人员

张淼 虞益挺 苑伟政 刘正堂 刘辉 乔大勇 郑倩 谢建兵

相关术语

衍射效应 刻蚀深度 二维亚波长结构 二氧化硅 表面微细加工 微负载效应

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